旋片式真空泵是以泵为主泵，以旋片真空泵为前级泵的串联而成的。旋片式真空泵选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片式真空泵在使用时一定压力下的抽气速率低的缺点，并且同时保留了罗茨泵能迅速的工作，优点有比较大抽气速率等。因为旋片式真空泵的结构紧凑、地面积小，所以可以替代多台机械式真空泵，因此旋片式真空泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽，电真空半导体等行业中与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。

       实验室旋片式真空泵低于泵温下的饱和蒸汽压时，即可以随时充入气体排出泵外，而防止凝固在泵油中。此外当密闭泵口运转的时候，已经混入油内的可凝性气体的凝结物或者气相就会溶于油中的物质，又会在泵腔内从中溢出，这时如果开气镇的任务，也可以抽除一定量的可凝性的物质，从而起到一定污染作用，延伸泵油的运用期。实验室旋片式真空泵油较贵，货源则是无限，因此合理运用气镇有着重大的经济意义