扩散硅、陶瓷、电容、单晶硅压力传感器各有哪些区别
时间：2024-06-19 阅读：1009
压力传感器是最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
根据工作原理的不同，压力传感器可分为以下几种：
电容式压力传感器
电容式变送器有一个可变电容的传感组件。该传感器是一个完全封闭的组件过程压力、差压通过隔离膜片和灌充液硅油传到传感膜片引起位移。传感膜片和两电容极板之间的电容差由电子部件转换成(4-20)mA的两线制输出的电信号。
扩散硅压力传感器
扩散硅压力传感器是外加压力通过不锈钢膜片、内部密封的硅油传递到敏感芯片上，敏感芯片不直接接触被测介质。以其灵敏度输出高，动态响应好，测量精度高，稳定性好，易于小型化，但易受温度影响，对于大于1kpa的均可测量是中档传 感器的理想选择。陶瓷是一种高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。
单晶硅传感器
高性能单晶硅压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作，输出为频率信号，抗干扰能力强，稳定性好，不需A/D转换，既能测量绝压，也能测量差压。
陶瓷压力传感器
陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40～135℃，而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV,输出信号强，长期稳定性好。具有优良的线性精度、迟滞性和可靠性、性价比。原则上较高的量程也易于实 现。这两种传感器都广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。
另外，一般的压力变送器(区别于差压变送器)所用的传感器常用的有：扩散硅传感器，陶瓷压阻传感器，陶瓷电容传感器，单晶硅传感器等。这种传感器只能测表压或者绝压，它们之间也是有各自的有缺点，在不同的场合使用的传感器也是不同的，例如一般的小量程压力变送器则需要用到陶瓷电容传感器，稳定性和精度会比其他高一些;而一般的超大量程，由于受生产工艺所限，通常是采用陶瓷压阻的比较多;对于扩散硅传感器，一般充油扩散硅传感器更适合做温度补偿等技术提升，并且在稳定性和过载能力方面也是比较出众的。
在差压传感器中充硅油或者惰性气体，一般都是电容式传感器，当然其他技术的传感器也是要填充惰性液或者惰性气体的，它所其到的作用是把压力均匀的作用在感压膜片上的。