扩散硅、陶瓷、电容、单晶硅压力传感器各有哪些区别
时间:2024-06-19 阅读:1136
压力传感器是最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
根据工作原理的不同,压力传感器可分为以下几种:
电容式压力传感器
电容式变送器有一个可变电容的传感组件。该传感器是一个完全封闭的组件过程压力、差压通过隔离膜片和灌充液硅油传到传感膜片引起位移。传感膜片和两电容极板之间的电容差由电子部件转换成(4-20)mA的两线制输出的电信号。
扩散硅压力传感器
扩散硅压力传感器是外加压力通过不锈钢膜片、内部密封的硅油传递到敏感芯片上,敏感芯片不直接接触被测介质。以其灵敏度输出高,动态响应好,测量精度高,稳定性好,易于小型化,但易受温度影响,对于大于1kpa的均可测量是中档传 感器的理想选择。陶瓷是一种高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。
单晶硅传感器
高性能单晶硅压力传感器,采用电磁激励和电磁拾振方式工作,输出为频率信号,抗干扰能力强,稳定性好,不需A/D转换,既能测量绝压,也能测量差压。
陶瓷压力传感器
陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40~135℃,而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV,输出信号强,长期稳定性好。具有优良的线性精度、迟滞性和可靠性、性价比。原则上较高的量程也易于实 现。这两种传感器都广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。
另外,一般的压力变送器(区别于差压变送器)所用的传感器常用的有:扩散硅传感器,陶瓷压阻传感器,陶瓷电容传感器,单晶硅传感器等。这种传感器只能测表压或者绝压,它们之间也是有各自的有缺点,在不同的场合使用的传感器也是不同的,例如一般的小量程压力变送器则需要用到陶瓷电容传感器,稳定性和精度会比其他高一些;而一般的超大量程,由于受生产工艺所限,通常是采用陶瓷压阻的比较多;对于扩散硅传感器,一般充油扩散硅传感器更适合做温度补偿等技术提升,并且在稳定性和过载能力方面也是比较出众的。
在差压传感器中充硅油或者惰性气体,一般都是电容式传感器,当然其他技术的传感器也是要填充惰性液或者惰性气体的,它所其到的作用是把压力均匀的作用在感压膜片上的。