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面议高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证较佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,减少系统停机时间,并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 804 FS 泵*的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
美国Agilent TwisTorr 804 FS涡轮分子泵特性:
1.创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体的高压缩比实现了高性能和小的系统占用空间。
2.高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。
3.安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动、低噪音和稳定轴承工作条件可延长泵的使用寿命,从而实现使用维护成本优化,减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。
4.*的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。
5.“三维”泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到max化,可在泵的操作条件下达到稳定通量和压缩性能。
典型涡轮泵应用:
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到稳定性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用:
领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
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科研中的真空应用 |
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工业真空加工 |
| 薄膜沉积:
设备加工:
一般工艺:
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纳米技术仪器 |
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美国Agilent TwisTorr 804 FS涡轮分子泵性能指标 :
抽速: | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
高气体通量 (*) | 风冷 (空气温度 25 °C) | 水冷 (水温 15 °C/室温 25 °C) | |
N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM | |
Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM | |
(*) 前级泵 11.6 m3/h | |||
压缩比与前级耐压关系* | |||
N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar | |
(*) 前级耐压定义为,在水冷模式下,当涡轮泵仍能产生 100 的压缩比时的压力 | |||
采用推荐前级泵时的极限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | ||
抽气口法兰 | ISO 200K,ISO 200F,ISO 250K, ISO 250F,CFF 10 英寸 | ||
前级管道法兰 | NW25 或 NW40 | ||
推荐的前级泵 | DS302 IDP10 IDP15 | ||
工作位置 | 任意 | ||
操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
润滑油 | yongjiu性脂润滑 | ||
冷却要求 | |||
风冷 | 空气温度由 +5 °C 至 35 °C | ||
水冷 | 水温由 +15 °C 至 +25 °C 水流速低 100 L/h | ||
噪音压力级别 (全速运行时距离 1 m 处) | 43 dB(A) |