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面议高真空涡轮分子泵采用TwisTorr拖动级技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr拖动级技术能提高小分子气体(如氢气和氦气)压缩比,从而实现大抽气量和城耐受高前级压力,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证较佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,减少系统停机时间,并能确保长时间稳定性。TwisTorr84FS泵*的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
美国Agilent TwisTorr 84 FS 涡轮分子泵特性:
1.创新的 TwisTorr 技术 — 能提高小分子气体压缩比,而非常小巧的转子设计则实现了高性能和小的系统体积。
2.耐受高前级压力 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。
3.安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动,低噪音,较佳的轴承工作条件,延长泵的使用寿命,实现使用维护成本优化,减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。
4.*的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。
5.铜制水冷通道(可选) — 可避免腐蚀,优化热传递性能,降低用水量和使用维护成本。
典型涡轮泵应用:
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到较佳性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。
美国Agilent TwisTorr 84 FS 涡轮分子泵应用:
领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
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科研中的真空应用 |
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工业真空加工 |
| 薄膜沉积:
设备加工:
一般工艺:
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纳米技术仪器 |
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性能指标
技术规格
抽速: CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置:CFF 2.75 英寸 配置:KF 40 配置: | N2:67 L/s N2:56 L/s N2:49 L/s | He:63 L/s/ He:46 L/s He:38 L/s/ | H2:53 L/s H2:40 L/s H2:36 L/s | Ar:66 L/s Ar:57 L/s Ar:44 L/s |
全转速气体流量(使用推荐的前级泵) 风冷 (35 °C) 水冷 (25 °C, 65 L/h) | N2:100 sccm N2:100 sccm | Ar:70 sccm Ar:70 sccm | ||
压缩比: | N2:≥ 1 × 1011 | He:2 × 106 | H2:5 × 104 | Ar:> 1 × 1011 |
极限真空*(使用推荐的前级泵) | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) | |||
入口法兰 | CF 4.5 英寸(外径) CF 2.75 英寸(外径) | ISO 63 KF40 | ||
前级管道法兰 | KF 16 NW | |||
转速 | 81000 rpm(驱动频率 1350 Hz) | |||
启动时间 | < 2 分钟 | |||
推荐的前级泵 | 机械:DS 40M-DS 102 干式泵:Agilent IDP-3,SH 110 | |||
工作位置 | 任意位置 | |||
操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空气相对湿度 | 0 至 90%(非凝缩) | |||
烘烤温度 | 入口法兰高温 120 °C(CFF 法兰) 入口法兰高温 80 ℃(ISO 法兰) | |||
润滑油 | 长期润滑 | |||
冷却要求 | 风冷: 水冷: | 气流温度 +5 °C 至 +35 °C 冷却水温度:+15 °C 至 +25 °C 流速:65 L/h (0.30 GPM) 压力:2 至 4 bar(45 至 75 psi) | ||
噪音压力级别(全速运行时距离 1 m 处) | 40 dB(A) * | |||
储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
海拔 | 3000 m | |||
认证 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 | |||
重量 kg(磅): | 泵 ISO 63: | 泵 CFF 4.5 英寸: | 泵 CFF 2.75 英寸: | 泵 KF 40: |