Semiprobe半自动真空探针台-半自动真空光电探针台-高低温真空探针台 产品描述：

Semiprobe半自动真空探针台-半自动真空光电探针台-高低温真空探针台 采用PS4L技术制造了一系列真空探测系统，可在真空环境中测试晶片或基板。此外，单个模具和破损/部分晶圆可以用真空探测系统进行测试。所有关键模块都可以更换和升级。SA-xVP半自动真空探针台可用于芯片、部分晶圆和整个晶圆（200mm以下）的研发至生产中。该真空探针台是MEMS、传感器、开关、微测热辐射计或真空封装产品的理想选择。可根据客户需求进行定制，以满足各种应用和预算。

Probe System for Life (PS4L) 探针台：

Semiprobe半自动真空探针台-半自动真空光电探针台-高低温真空探针台 采用了SemiProbe 技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了的灵活性并大大地节省了设备资金费用。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 探针台中所有的基础模块-基座，支架,卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的。这使得 PS4L探针台以极低的价格便可满足多种应用需求，为客户提供了的解决方案。更重要的是，PS4L可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和的费用完成有效的测试。

真空系统：

半自动探针系统将在真空环境中测试200mm以下的晶圆或基板。也可以测试单个芯片和破碎/部分晶圆。该系统是使用SemiProbe的PS4L自适应架构构建的。所有关键模块都是可互换的，以提供的灵活性。该系统非常适合于研究、实验室或试生产应用。可更换的模块使其易于转换，为各种应用提供测试解决方案-直流、高频、光电、微机电系统、纳米技术等等。该系统易于定制，以满足各种应用和预算。所有模块都是可更换的，可以根据需要添加许多附件。有几种不同类型的真空泵和控制器可满足各种真空度。

技术参数：

型号：SA-4VP

• 晶圆/基板尺寸：100mm
• 晶圆卡盘：可达100mm
• 卡盘支架行程（X,Y)：105 mm x 105 mm

型号：SA-6VP

• 晶圆/基板尺寸：150mm
• 晶圆卡盘：可达150mm
• 卡盘支架行程（X,Y)：155 mm x 155 mm

型号：SA-8VP

• 晶圆/基板尺寸：200 mm
• 晶圆卡盘：可达200mm
• 卡盘支架行程（X,Y)：205 mm x 205 mm

• 精确度：+/- 3.0μm
• 分辨率：0.1 μm
• 重复精度：+/- 0.5 μm
• Z轴行程：15mm
• Z轴分辨率：0.5μm
• Z轴重复精度：+/- 1.5 μm
• θ转轴：+/- 4度
• 电动机：带编码器的直流步进电动机
• 卡盘支架的真空吸力：10^-5 torr
• 信号和驱动隔板：同轴、三轴或25针D连接器
• 设备触点：最多8个可编程操纵器（要求选择腔室顶部）
• 探针卡：圆形或矩形-工业标准4.5“x 12”
• 腔室顶部：2个标准腔室顶部-探针卡应用的平顶部和可编程操纵器应用的高顶部
• 热卡盘：尺寸和温度可选。典型:-65^oC-300^oC
• 光学元件/显微镜移动：50x50mm(标准)-手动或可编程
• 光学元件Z轴行程：50mm-100mm – 手动、气动或可编程
• 光学元件/显微镜：立体变焦、复合变焦、变焦管、AZoom
• 变焦范围：2x-40x，取决于所选的显微镜
• 放大倍数：7x-400x，取决于所选的显微镜
• 精密真空控制：MKS仪器精密真空控制提供100torr – 1mtorr的真空度控制
• 真空泵系统：双极泵系统，降至10-6 torr
• 泵类型：旋转叶片、涡旋、涡轮分子或TPS紧凑型（粗加工和涡轮分子）

配件：

• 操纵器、探针臂、探针头、探针卡夹、CCTV系统、激光切割机、
• Polytec MSA-500运动分析仪、红外黑体、热卡盘

PILOT软件显示:

PILOT软件主屏幕显示与导航仪和晶圆映射模块，显微镜和操纵器控制和集成视频显示