SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 产品描述：

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 是一款模块化设计、价格适中、体积小巧的探针系统，适用于研发中心和各大高校，具有高稳定性和灵活性，满足实验室测量的需求。它配置完整，简单易操作，安装可经由客户完成，操作可在一小时内完成。Lab Assistant 探针台可以配置为直流或高频/微波测试配置，包括一系列精密配件，通常只在更大更昂贵的探针系统中使用。与之相比，一般情况下，这种功能的探针台是非常昂贵的，但这款实验室探针台以非常有竞争力的价格实现提供了多种产品特点和功能选项—多种平台、卡盘、光学组件和操纵器。并且可在之后增加各种附件从而增强系统功能性。此外，该探针台有50mm、100mm、150mm或200mm卡盘和支架可供选择，并可配备许多与PS4L系列探针台中所使用的相同的热卡盘、光学元件和操纵器。

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 配置包括：

• 硬铝基座，带有橡胶隔振脚
• 晶圆平台粗调和细调，可更换级选项-封装部件或热部件
• 精细的平台移动，使用精准的测微计控制— X (25 mm), Y (25 mm) & Z (>20 mm)
• 粗略（360°）和精细（10°）θ调整
• 卡盘，附有隔离适配器和真空控制系统
• 铝与不锈钢镀盘，附有可拆卸的前锲
• 精密测微计驱动压盘Z上升（13mm）
• 显微镜柱，附有同轴和线性显微镜X，Y移动100 mm x 100mm
• 7:1变焦(100x 放大倍率) 三目立体变焦显微镜，工作距离为100mm
• 两个DC MA-8005 操纵器，带磁性底座，面板和同轴探针臂（标准，For LA-xx DC）
• 两个DC MA-8000操纵器，带磁性底座和HF西/东探测臂（标准，For LA-xx HF）

技术参数（型号：LA-100 DC/HF）：

• 尺寸：420 mm X 540 mm X 535 mm
• 重量：32 kg
• 电源：AC 110/220V AC 50-60 Hz，20A
• 真空：23 Hg 或 -0.8 bar
• 基座：带橡胶隔振脚的实心铝刚性基座
• 卡盘X-Y轴移动：用于粗调的可调磁性滑轨（>100 mm）
• 微调-25 mm（X，Y）
• 整个支架可通过磁性基座轻松拆卸
• 卡盘Z移动：行程：20 mm
• θ移动：360°粗调，10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，高频等
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 操纵器固定-磁性(标准)，真空(可选真空歧管)
• 压盘位移：测微计驱动调节压盘Z
• 显微镜安装：刚性铝柱（标准）或吊杆
• 显微镜移动：手动移动同轴和线性精密显微镜-100mm（X）和100mm（Y）

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 可选配件：

CCTV系统（摄像机、监视器和适配器）、操纵器、探针臂、探针、电缆、光学隔振台，暗箱等