SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 产品描述：

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，平台,卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求，为客户提供了的解决方案。

更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和的费用完成有效的测试。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台技术参数（型号：PS4L M-12）：

• 产品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
• 重量：110Kg
• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空:23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：行程:＞300mm粗调，25mm微调(可定制)
• 平面性:±7.5μm
• 分辨率:5μm
• 支架类型：快速对准（标配）、同轴/可编程（选配）
• 卡盘Z轴轨道：行程：＞20mm
• θ移动：可转角度：360°粗调，>10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
• 平面性:5μm
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 360度机械手放置
• 机械手固定：磁性(标准)，真空(可选配真空歧管工具包)
• 压盘位移：可选择固定和线性调节（线性调节范围：40mm粗调，200um微调）
• 显微镜：立体变焦、变焦或复式显微镜
• 显微镜安装/移动：可选吊杆、立柱或桥架安装；可手动或通过程控移动

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台可选配件：

包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。