Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器

耐腐蚀，精度1%

型号：SEC-E440J，NH3, 7SLM；SEC-E440J，SiH4，500sccm

E440J系列已经停产，用N112系列替代：N112MGM。

 Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器电磁控制阀金属密封质量流量控制器，又称流量计，可用于腐蚀性干燥气体，在光伏中PECVD中有光伏应用。

金属密封;
电磁控制阀;
可优化响应时间;
自动归零功能;
集成报警功能;
阀电压检测功能;
电磁控制阀可*关闭;

 Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器

气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢，PTFE(聚四氟乙烯)
精度：<±1.0% F.S.
线性度：<± 0.5% F.S.
重复性：<± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ * F.S.
响应速度：< 1秒

 
满量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm

本公司同时提供美国AALBORG、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器