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¥510000近年来,我国芯片企业数量增长迅速。2015年中国IC设计企业数量仅为736家,到2016年这个数字已经增至1362家。据集成电路产业专家介绍,芯片和液晶面板生产线单条投资一般都会达到百亿元,相关水系统直接影响产品的品质和性能,超纯水系统及工艺成为行业关注的重点。
超纯水(Ultrapure water,UPW)指将水中的导电介质几乎*去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。超纯水的电阻率大于18MΩ·cm,接近18.3MΩ·cm极限值。“超纯”强调了水中各类型的污染物被去除至近乎于零的含量,和常用的术语“去离子水”不同,除了常规的表征电解质含量的指标(电导率或电阻率)外,根据应用的不同还包括有机物和无机化合物、溶解和颗粒物质、细菌及溶解气体等指标。
采用“换热系统+多介质过滤器+活性炭过滤器+曲线微导力系统+Clean-EDI系统”的处理工艺。曲线微导力系统通过分离技术,将水中的离子与水分离,降低水中离子的含量,达到净化水质及降低水中离子的目的,结合预处理系统、加药系统等前处理系统,可实现水的预脱盐目的。Clean-EDI工艺系统结合了混床和电渗析两大工艺的特点,采用低压循环再生模式,低能耗,模块恢复性能佳,且在更换树脂床或使用化学试剂进行树脂再生时并不需要关闭系统,很大限度地减少了水的质量不稳定因素,同时简化了操作和基建成本。
我国超纯水市场目前处于成长期,市场规模迅速上升。莱特莱德曲线微导力系统能够提高20-30%的水利用率,降低设备能耗10-20%,为用户提供更优品质超纯水。