引言：随着科技的飞速发展，芯片已经成为当代社会的一部分。芯片制造技术也在这一背景下不断进步，其应用领域也在不断扩大。从最初的计算和存储设备，到现在几乎所有类型的电子设备，芯片都发挥着核心的作用，因此对于芯片生产过程人们也越发重视。

　　在芯片生产过程中，超纯水设备起着至关重要的作用。该设备产出的超纯水是一种杂质含量极低的水，其电阻率可达到18兆欧姆·厘米(MΩ·cm)以上，主要作用是为芯片制造提供所需的高品质清洗用水，用于保证芯片制造过程中的清洁度。那么这样的超纯水设备在应用过程中发挥了哪些作用呢？

　　在芯片制造过程中，超纯水设备主要起到以下几个作用：

　　1.清洗工艺中：超纯水设备产出的超纯水的纯度可以用于去除硅片表面的杂质和微粒，保证芯片的纯净度。

　　2.蚀刻工艺中：在芯片制造中的蚀刻环节，超纯水可以控制化学反应的速度和均匀性，从而保证蚀刻的质量和精度。

　　3.冷却工艺中：超纯水设备产出的超纯水可以起到良好的冷却作用，防止芯片因为过热而受到损伤。

　　目前在芯片制作中应用的超纯水设备多是采用反渗透结合EDI装置相结合的工艺，这样的超纯水设备还具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、脱盐率高、系统内无死水等优点，出水水质符合且高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。

　　我们还在应用中发现该超纯水设备应用的EDI装置不会产生酸碱废液，因此不需要酸碱中和处理。EDI进水为二级反渗透产水，水质较好。即使经EDI系统脱盐后，EDI浓水水质仍优于一级反渗透产水，可回流至一级反渗透产水箱。可连续工作，无须更换树脂。具有自动化程度高，无须人工操作等优势。　

　　此外，超纯水设备的应用对于提高芯片制造的环保性也有着积极作用。在应用过程中不会对环境产生污染，符合当前社会对于工业生产绿色、环保的发展要求。

　　结论：综上所述，芯片的发展迅速并广泛应用于各个领域。在其制造过程中，超纯水设备有助于提高芯片制造的环保性。因此，超纯水设备在芯片制造中扮演着重要的角色，对于推动芯片制造业的发展具有重要意义。