半导体行业用超纯水的工艺优势简介
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莱特莱德(北京)环境工程有限公司

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半导体行业用超纯水的工艺优势简介
  1、设备运行安全、稳定、可靠,并实现系统设备的远程监控。
  2、设备配有声光报警,设备运行出现任何异常时,系统可进行联锁保护。
  3、控制系统采用集中监控方式,能与工艺系统网络通讯,实现工艺系统全自动运行。
  4、终端供水泵能够实现不降压设备切换。

详细介绍

  半导体行业用超纯水的工艺

  超纯水设备是用在反渗透等水处理工艺之后,用来制取超纯水的水处理设备。设备将阴、阳离子按照比例混合装填于同一容器内,使其处理后的水质电导率可低于1uS/cm以下,出水电阻率达到10MΩ.cm以上,根据不同行业的用水要求,可将出水电阻率可控制在1-18MΩ.cm之间。

  半导体行业用超纯水的工艺优势:

  1、设备运行安全、稳定、可靠,并实现系统设备的远程监控。

  2、设备配有声光报警,设备运行出现任何异常时,系统可进行联锁保护。

  3、控制系统采用集中监控方式,能与工艺系统网络通讯,实现工艺系统全自动运行。

  4、终端供水泵能够实现不降压设备切换。

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  半导体行业用超纯水的工艺应用范围

  1、液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液。

  2、晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制。

  3、集成电路生产中高纯水清洗硅片。

  4、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路。

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