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半导体行业用超纯水的工艺
超纯水设备是用在反渗透等水处理工艺之后,用来制取超纯水的水处理设备。设备将阴、阳离子按照比例混合装填于同一容器内,使其处理后的水质电导率可低于1uS/cm以下,出水电阻率达到10MΩ.cm以上,根据不同行业的用水要求,可将出水电阻率可控制在1-18MΩ.cm之间。
半导体行业用超纯水的工艺优势:
1、设备运行安全、稳定、可靠,并实现系统设备的远程监控。
2、设备配有声光报警,设备运行出现任何异常时,系统可进行联锁保护。
3、控制系统采用集中监控方式,能与工艺系统网络通讯,实现工艺系统全自动运行。
4、终端供水泵能够实现不降压设备切换。
半导体行业用超纯水的工艺应用范围
1、液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液。
2、晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制。
3、集成电路生产中高纯水清洗硅片。
4、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路。
莱特莱德公司服务流程:
前期咨询--方案设计--报价跟进--达成合作--集中采集--生产加工--实地安装--复查(运行)确认--售后跟进
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