威思曼高压电源SEM应用的OEM模块SEM系列高压电源为SEM行业提供高图像质量和分辨率

威思曼的SEM系列是一款集成的多输出高压电源，专为驱动扫描电子显微镜（SEM）而设计。威思曼在该应用中的广泛知识使我们能够开发一系列技术平台，可以定制以满足SEM的苛刻要求。

主要的加速电压是一个高稳定性的30kV电源，集成浮动灯丝，提取极和抑制极输出，驱动场发射，冷阴极和肖特基电子源，采用紧凑型解决方案，扩展支架可安装在19英寸机架中。所有输出均提供超低输出纹波，出色的稳压，稳定性，温度系数，漂移和精度。通过威思曼专有的高压隔离技术提供相应浮动源的隔离和控制。

该集成SEM系列电源系统，客户控制通过光纤接口完成。所有高压安全联锁均采用基于故障安全硬件的设计，SEM系列电源通过CE认证，符合适用的IEC，UL和SEMI标准。威思曼的SEM电源系统具有出色的性能，具有低纹波，少微放电和ppm级稳定性，可实现高图像质量和分辨率。

典型应用：

扫描电子显微镜（SEM）

电子束控制器

产品规格

（参考PDF规格书）

产品特性：

输入电压：

+ 24Vdc，±5％@4安培。

浪涌电流<6安培，持续1秒。

安全保险丝： 5 x 20mm陶瓷保险丝，可从外部更换，并标有保险丝值。

漏电流： <200μA

电压：

相对于地，0V至-30kV满载

电源开关：

船型开关允许从前面板开启和关闭装置。

环境：

工作温度：

正常工作时环境温度+ 10°C至+ 45°C。

该装置将在0°C下运行，但需要

延长预热时间。

储存温度：

-30°C至+ 70°C

湿度：

10至90％RH，无冷凝

海拔高度：

全功率2000米ASL。对于2000 米以上的海拔高度，环境工作温度每300米间隔线性降低1.1?C。

机械：

该装置配有一对可拆卸的安装法兰; 这些允许该装置安装在19“机架系统中。

该装置可以任何方向操作。M5 x 23mm 保护接地螺柱安装在HV连接器附近

加速电源

输出电压：

-100V至-30kV，负极性。

可设定32.5kV的无负载电流的调节电压。

在任何情况下输出都不会超过35kV。输出可以设置为OFF，禁用Beam Energy转换器，在这种情况下输出将<60伏。

输出电流：

200μA，20kV至30kV

输出电流保护范围：

250μA±10％输出禁用并锁定，延迟约1秒。程序电压设置为零。

精度（电压给定）：

在控制范围内<1％或±10V（以较大者为准）

电压控制：

16位DAC，分辨率0.5V，满量程= 32,768伏

线性度：

-20至-30kV <±25V

负载调整率：

对于30μA至200μA的负载变化，<±100mV

线路调整率：

从22.8V到26.4V线路变化<±10ppm

波纹：

<50mVp-p @ 0uA至200uA，0.1Hz至20MHz

温度系数：

从+10℃到+45℃<10ppm /℃，从+20℃到+30℃ <5ppm /℃

稳定性：

在恒定操作条件下预热1小时后<200mV / 15分钟。

电压显示：

16位，分辨率0.5V。相对于实际输出电压的精度为±2％或±10V。

电流显示：

12位，分辨率100nA，精度为±2％或±1μA。

摆动幅度：

0％至100％调制，步长为1％，其中100％定义为光束能量输出的±5％，最小值为±50V。峰峰值是振幅的两倍。

摆动周期：

666至2000毫秒。可以1毫秒的步长调节。正弦输出，每周期16点。摆动始终在零交叉处开始和停止。

储存能量：

<850mJ

灯丝电源：

连接：

灯丝的中心连接到Beam Energy输出。输出可以设置为关闭，禁用灯丝转换器。

灯丝电压：

标称值为1.8V，值为3V

灯丝电流：

控制范围为0.5A至3A

负载电阻：

标称值为0.6Ω

准确性：

2至3安培之间±5mA

电流控制：

12位DAC，分辨率1mA。满量程= 4.096安培

线性度：

0.5A和3A之间±10mA

负载调整率：

在3A时，0.4Ω至1.0Ω的变化<5mA。（包括输出线）

线路调整率：

电源电压变化5％<1mA。

线性度：

0.5A和3A之间±10mA

波纹：

0.6mA @ 3.0A时，<1mAp-p，20Hz至10kHz，<30mV pp，约100kHz

温度系数：

<50PPM /℃

稳定性：

<2mA / 60分钟。在恒定的操作条件下预热一小时后。

电压显示：

12位，分辨率2.5V，满量程= 10.24V。

相对于实际输出电压的精度：±5％或±25mV

电流显示：

12位，分辨率+/- 1mA，满量程= 4.096安培。

相对于实际输出电流的精度为±10mA。

灯丝开路报警OC：

开路检测，Vout> 5.2±0.1伏。将禁用所有输出并将程序设置为零。

灯丝电流过流保护：

如果输出电流超过3.15A十秒钟，则检测到过电流。将禁用所有输出并将程序设置为零。

提取极电源

输出电压：

0V至10kV（相对于加速电压为正）。

控制范围+ 100V至+ 10kV。输出可以设置为OFF，禁用提取器转换器。

输出电流：

控制范围700μA。

编程过流电流值：

可编程0至735μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。应禁用所有输出并将程序设置为零

精度（电压给定）：

在控制范围内<1％或±20V（以较大者为准）

电压控制：

12位DAC，分辨率2.5V，满量程= 10.24kV

线性：

在控制范围内±20V

负载调整率：

<±1V（10μA - 700μA输出电流变化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

输入调整率：

+/- 5％线路变化<±5ppm

波纹：

在10kV，700μA，0.1Hz-20MHz时<100mVp-p

温度系数：

<50ppm/℃

稳定性：

<0.05V / 15分钟; 在恒定的操作条件下预热一小时后

斜率：

10V / s至1000V / s

电压显示：

12位，分辨率2.5V，满量程= 10.24kV。

相对于实际输出电压的精度：±1％或±20V

电流显示：

12位，分辨率0.25uA，满量程= 1.024mA。

相对于实际输出电压的精度：±2％或±2uA

保护：

连续/间歇的电弧到加速电源和大地。

储存能量：

<150mJ

抑制极电源

电压：

0V至1000V（相对于加速电压为负）。

控制范围100V至1000V。输出可以设置为OFF，禁用提取器转换器。

输出电流：

控制范围<100μA。

过流保护：

100μA±10％，延迟5秒，将禁用所有输出并将程序设置为零。

精度（电压给定）：

在控制范围内<2％或±6V（以较大者为准）

电压控制：

12位，分辨率0.25V，满量程= 1024V

线性：

在控制范围内±5V

负载调整率：

对于10μA至100μA的负载电流变化，<120mV。

输入调整率：

+/- 5％线路变化<±5ppm

波纹：

控制范围<20mV pp，0.1Hz至20 MHz。

温度系数：

<50PPM /℃

稳定性：

<0.3V / 15分钟; 在恒定的操作条件下预热一小时后

电压显示：

12位，分辨率0.25V，满量程= 1.024kV。

相对于实际输出电压的精度：±2％或±250mV

电流显示：

12位，分辨率0.25uA，满量程= 1.024mA。

实际输出电流精度：±10％

保护：

连续/间歇弧到加速电源或提取极电源

储存能量：

<2.5mJ

PMT电源

电压：

0V至-1300V（相对于大地电压为负）。

控制范围-100V至-1300V。输出可以设置为OFF，禁用提取器转换器。

输出电流：

控制范围<1000μA。

过流保护：

1000μA±10％，延迟5秒，将禁用所有输出并将程序设置为零。

精度（电压给定）：

在控制范围内<2％或±6V（以较大者为准）

电压控制：

12位，分辨率0.25V，满量程= 1024V

线性：

在控制范围内±5V

负载调整率：

对于10μA至1000μA的负载电流变化，<120mV。

输入调整率：

+/- 5％线路变化<±5ppm

波纹：

控制范围<20mV pp，0.1Hz至20 MHz。

温度系数：

<25PPM /℃

稳定性：

预热一小时后,±0.02%，每小时/H

电压显示：

12位，分辨率0.25V，满量程= 1.024kV。

相对于实际输出电压的精度：±2％或±250mV

电流显示：

12位，分辨率0.25uA，满量程= 1.024mA。

实际输出电流精度：±10％

保护：

连续/间歇弧到加速电源或提取极电源

储存能量：

<2.5mJ

闪烁体电源

输出电压：

0V至10kV（相对于大地为正）。

控制范围+ 100V至+ 10kV。输出可以设置为OFF，禁用提取器转换器。

输出电流：

控制范围200μA。

编程过流电流值：

可编程0至200μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。应禁用所有输出并将程序设置为零

精度（电压给定）：

在控制范围内<1％或±20V（以较大者为准）

电压控制：

12位DAC，分辨率2.5V，满量程= 10.24kV

线性：

在控制范围内±20V

负载调整率：

<±1V（10μA - 200μA输出电流变化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

输入调整率：

+/- 5％线路变化<±5ppm

波纹：

在10kV，200μA，0.1Hz-20MHz时<100mVp-p

温度系数：

<25ppm的/℃

稳定性：

<2V / 15分钟; 在恒定的操作条件下预热一小时后

斜率：

10V / s至1000V / s

电压显示：

12位，分辨率2.5V，满量程= 10.24kV。

相对于实际输出电压的精度：±1％或±20V

电流显示：

12位，分辨率0.25uA，满量程= 1.024mA。

相对于实际输出电压的精度：±2％或±2uA

保护：

连续/间歇的电弧到加速电源和大地。

储存能量：

<150mJ

透镜电源

输出电压：

0V至10kV（相对于大地为正）。

控制范围+ 100V至+ 10kV。输出可以设置为OFF，禁用提取器转换器。

输出电流：

控制范围200μA。

编程过流电流值：

可编程0至200μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。应禁用所有输出并将程序设置为零

精度（电压给定）：

在控制范围内<1％或±20V（以较大者为准）

电压控制：

12位DAC，分辨率2.5V，满量程= 10.24kV

线性：

在控制范围内±20V

负载调整率：

<±1V（10μA - 200μA输出电流变化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

输入调整率：

+/- 5％线路变化<±5ppm

波纹：

在10kV，200μA，0.1Hz-20MHz时<100mVp-p

温度系数：

<25ppm的/℃

稳定性：

<0.3V / 15分钟; 在恒定的操作条件下预热一小时后

斜率：

10V / s至1000V / s

电压显示：

12位，分辨率2.5V，满量程= 10.24kV。

相对于实际输出电压的精度：±1％或±20V

电流显示：

12位，分辨率0.25uA，满量程= 1.024mA。

相对于实际输出电压的精度：±2％或±2uA

保护：

连续/间歇的电弧到加速电源和大地。

储存能量：

<150mJ

真空联锁：真空互锁是光学互锁，当光纤存在于光纤上时产生。当没有灯光时，联锁断开，设备关闭所有输出。

指示灯：

开机指示灯（前面板）：

绿色LED将亮起，表示+ 24V电源接通。该LED将在22.8至25.2 伏的范围内点亮，并在超出范围时以1秒的周期闪烁。

真空联锁指示灯（前面板）：

黄色LED将亮起，表示所有真空联锁都已关闭。必须照亮真空互锁LED才能使设备产生高压。

保护：

所有输出均受负载和连续短路保护，不受电弧影响。

输出的介电强度测试电压能力为36kV，但输出不能超过该电压。

所有低压输入均可防止±30伏的过压。电源输入具有过压保护和反向连接保护。

过温：

任何超过过温条件超过十秒的半导体器件都会启动关闭并发送错误信息。

关机要求：

可以独立关闭加速电源。

灯丝电源，抑制极电源和提取极电源输出（发射）是一起关闭。