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洁净室zui主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非99%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率99%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、电脑硬盘等多行业。湖南株洲实验室净化工程
主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为:(1)一般生物洁净室;(2)生物学安全洁净室
包括吊杆、纲梁、天花板格子梁。
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
包括窗户、门。
包括高架地板或防静电地板。
包括日光灯、黄色灯管等。
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