百级无尘烘箱测控系统及安全保护措施
时间:2017-06-21 阅读:2334
百级无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影
后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非
易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
百级无尘烘箱测控系统及安全保护措施:
1、控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃;
2、温度测量传感器:Pt100铂电阻;
3、控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;
4、超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;
百级无尘烘箱产品特点
●结构材料:内外全部采用SUS304#不锈钢板制作无尘无污染,耐酸碱腐蚀环保,美观大方
●保温材料:使用高密度进口岩棉,双层保温层,炉门采用高温硅胶紧迫,保温、密封性能好。
●温控系统:采用RKC智能型温控器PID自动演算,配合SSR固态断电输出,确保控制温度。
●运风方式:左出风,右边回风循环;特殊风道设计,炉内温差均匀性好。
●安全装置:电机过载保护,漏电保护,相序保护,双重防超温保护装置;所有发热管与炉体外壳隔绝缘保证设备使用安全。