1、真空度达不到15Pa以下
（1）检查真空泵与主机之间连接，卡箍是否正确卡紧。
（2）检查有机玻璃罩下端平面是否清洁，有无伤损。
（3）检查“○"型密封圈是否清洁，放置是否正确。
（4）检查真空泵工作是否正常，观察泵油是否清洁。
（5）检查真空阀是否拧紧。
2、真空泵漏油检查机身部位，更换所需配件。
3、冷阱温度偏高环境温度过高，散热不良，如若制冷系统故障，请与卖方技术人员。