EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

应用：

    · 静态 /动态SIMS 
    · 一般目的的表面分析
    · 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS 
    · 兼容的离子枪/ FAB 枪 
    · 成分/污染物分析 
    · 深度分析
    · 泄漏检测
    · 与Hiden SIMS 工作站兼容

特点： 

    · 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
    · SIMS 成像，分辨率在微米以下 
    · 光栅控制，增强深度分析能力
    · 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 
    · 所有能量范围内，离子行程的zui小扰动，及恒定离子传输
    · 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
    · 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
    · Penning规和互锁装置可提供过压保护
    · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制 

EQS 二次离子质谱探针来源于:北京英格海德分析技术有限公司