臭氧几乎对所有病菌、病毒、毒菌、真菌及原虫、卵囊都具有明显的灭活效果，且灭菌迅速无比，是氯的300-600倍，紫外线的3000倍。臭氧的灭菌机理，Roy等研究报告，臭氧可破坏病毒衣壳蛋白的四条多肽链并使RNA受到损伤；Klm等报告，臭氧作用过程中，可使噬菌体中RNA被释放，电镜观察可见噬菌体被撕裂成小的碎片。臭氧可与细菌细胞壁脂类双键反应，穿八菌体内部，作用于脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通性，从而导致细菌溶解和死亡。

　　应用范围：饮用水处理、污水处理、淤泳池水处理、养殖水、加工车间、净化食品加工等设备杀菌消毒净化。

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