因过氧化氢本身具有的氧化还原的作用从而具有了杀菌的功能，特别是对厌氧芽孢杆菌的杀灭效果较好。过氧化氢的作用原理是通过复杂的化学反应解离具有高活性的羟基，用来攻击细胞的成分，包括破坏细胞膜，脂类，蛋白质以及DNA。通过“闪蒸”将液态的过氧化氢转化为H2O2干雾，此过程可以直接在常温常湿的环境下有效的进行，不需要对其进行除湿等其他的预处理。过氧化氢干雾被均匀地引入到封闭的空间，其内表面完全的暴露在过氧化氢干雾中，形成大约为1μm的过氧化氢膜，附着在有可能寄居了的微生物的表面，微生物自身会作为核心被形成的微冷凝所包裹，并迅速在此过程中被杀灭。
 

　　过氧化氢灭菌器主要有以下的几个特点：
 

　　1、可以直接在室温条件下进行消毒灭菌；
 

　　2、过氧化氢干雾消毒灭菌的周期比较短，只需要5到7小时，而蒸汽消毒灭菌的周期在需要8到10个小时，环氧乙烷气体的消毒灭菌周期需要12到18小时；
 

　　3、使用过氧化氢干雾消毒灭菌是不会对操作人员造成危害的，也不会给环境造成污染，因其最终的残留物为水与氧气；
 

　　4、蒸汽灭菌使腔室产生很大的压差变化，长期反复受压，抽真空，会缩短设备的使用寿命，而采用过氧化氢干雾灭菌，因压力、温度条件的改善，使设备的运行寿命和维修周期得以延长；
 

　　5、如果是长期的使用蒸汽去消毒灭菌，那么湿热的气体会比较容易破坏腔体内表面的不锈钢的钝化膜，但是使用过氧化氢干雾去消毒灭菌则可以很少的损害到腔体内表面的不锈钢钝化膜。
 

　　6、采用移动式(带脚轮)的过氧化氢干雾(VHP)发生器，能对多台的设备配套灭菌，可以降低设备的初投资费用；
 

　　7、对过滤器HEPA的穿透性好(玻璃纤维)；
 

　　8、不会影响到其他的物品，比如装置，电器或者洁净室墙板等。