北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型成像椭偏仪。这种光子晶体探测器型的成像椭偏仪是有日本PHL公司*，并应用到的测试中。日本PHL公司在光子晶体的研究和制造领域世界，由此开发出的光子晶体探测器型具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。

相比传统的光谱型，光子晶体探测器型避免了探测器的机械运动。使得测试速度更快、测试更加准确、成本更加低廉。

ME-210型光子晶体探测器型特点：

1. 可用于8英寸样品的3D快速成像
2. 可用于厚度差异小于1nm以内的薄膜的快速和高精度成像
3. 超高速测量，zui高速度可达20000点/分钟
4. 超高分辨率的测量，zui小面积可达50um2
5. 可进行透明基底上的薄膜的测试

技术规格：

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