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郑州长城科贸真空低温泵系统操作注意事项

时间:2014-11-03      阅读:864

  

在低温泵系统中,有时为了减少表面出气,需要对工作室壁用液氮冷却。但此时,在解释电离规读数时就应注意。即使室壁不冷却,规在低温系统内的位置很重要,特别是否直接对着泵。由于电离规测量的是气体密度而不是压强,若规内气体温度为T1,而系统内温度为T2,则电离规压强读数是Pi=P(T1/T2)1/2,这里P是系统内的压力。

 

烘烤低温泵真空系统时应特别注意,由于低温泵怕热辐射,当系统烘烤到450℃时,可能导致泵的温度升高到超过工作范围,此时可以在泵和系统之间插入水冷挡板作为热辐射屏蔽,但这会严重地减小抽速。可以把挡板制成烘烤时旋转到屏蔽位置,结束后旋转回去的类似于蝶阀的结构。档板在屏蔽位置时,系统的抽速减小了75%

 

在抽气系统操作时,系统的操作者应确保在工作过程中低温泵的热载荷不超过额定指标,尤其应特别注意泵*级吸附板上的热载荷大小。为了确保低温泵的热载荷不超过指标(尤其是*级上的热负载),应采用某种形式的障板来减少射到*级上的辐射用量。除了真空室壁附近300K的辐射外,*级还接受来自诸如镀膜室、加热灯丝或溅射放电等热辐射源。在许多过程中热载荷可高达100150W,此时就容易超过功率为3540W的膨胀机的容量。因而需要加某种形式的障板来减少射到*级上的辐射通量。简单的办法是用反射的非冷却障板。如果还不够的话,则需要采用带冷却的人字形障板。这种障板可以用水冷却也可以用液氮来冷却。

 

低温泵在连续运转中,尤其是在吸附剂被氦饱和时,应特别注意防止瞬时断电,因为即使是短时间停电,氦气也会从吸附剂中释放出来,而且会把真空器壁上的大量热量传到抽气表面上去。这时即使系统已经粗抽到20Pa也解决不了问题,因为那也不足以阻止连续的热传导现象发生。

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