TONiC RSLM直线光栅系统

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2024-09-14 07:36:27
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产品简介

TONiC RSLM直线光栅系统

详细介绍

RSLM不锈钢栅尺的性能可与小栅距玻璃光栅相媲美,长度范围却远超后者,可达10 m。RSLM的整体精度(包括斜率误差和线性误差)在5 m的情况下可达±4 µm -- 实现水平! RSLM可以方便的成卷存放,一旦展开,就可以像栅尺一样使用。 与具有±30 nm超低周期误差(电子细分误差 - SDE)的栅尺结合在一起,RSLM是测量精度要求严格的长行程应用场合的理想解决方案。

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