1、存在于液体中的微气泡（空化核）在声场的作用下振动，当声压达到一定值时，气泡将迅速变大，然后溘然闭合，在气泡闭合时产生的冲击水波能在其附近产生上千个大气压的压力，破坏不溶解性污物而使它们分解在清洗液中。
    2、蒸汽型空化对污物层的直接反复冲击，一方面破换污物与清洗件表面的吸附，另一方面也会引起污物层的疲惫破坏而清洗件表面脱离。
    3、气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污物一旦有缝可钻，气泡就可以“钻入”裂痕中振动，使污层脱落。例如工件上的氧化层就可以比较等闲被气泡剥离。如图3-2所示。
    4、 对于有油污包裹住的固体粒子，因为超声空化的作用。两种液体在界面迅速分散而乳化，固体粒子即行脱落。
    5、空化气泡本身在振荡过程中，将伴跟着一系列二阶段现象发生，如辐射扭力。辐射扭力在平均液体中作用于液体本身，从而导致液体本身的环境，即称之为声流。这个声流可以作用于量级较大的范围，也可限于μm量级较小的范内，后者场称为微声流，它可以使振动气泡表面处在很高的速度梯度和粘滞应力，这种应力有时高达100Pa以上，足以使工件表面污物造成破坏而使其脱落。
   6、 超声空化在固体和液体界面上所产生的高速微射流能够除去或削弱边界污层，增加搅拌作用，加快可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。