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装片房
石墨舟装片房
产品说明
本设备是用于太阳能行业与PECVD承载车配套，装去硅片，配制过滤器，空气通过过滤器后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区达到工艺要求的洁净度。
主要特点
① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位；
② 采用SUS304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；
③ 采用GK系列空气过滤器；
④ 净化风机噪音小于50dB；
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
⑥ PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;
设备名称 | PECVD装片房 |
总功率 | 220V 800W |
时间显示 | 数显 |
控制方式 | 光电感应自动吹风，微电脑控制 |
离心风量 | 1000m3/h |
电压和功率 | AC220V/800W |
外形尺寸 | 1580×900×2400（mm） |
