光刻机水冷机组定时保养知识须知
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AES-4535光刻机水冷机组定时保养知识须知

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-03-25 14:14:31
730
属性:
产地:国产;产品大小:小型;产品新旧:全新;结构类型:密封式,立式;结构类型:密封式,立式;温度:常温冷水机;
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产品属性
产地
国产
产品大小
小型
产品新旧
全新
结构类型
密封式,立式
结构类型
密封式,立式
温度
常温冷水机
关闭
无锡冠亚恒温制冷技术有限公司

无锡冠亚恒温制冷技术有限公司

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产品简介

元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机水冷机组定时保养知识须知

详细介绍

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

光刻机水冷机组定时保养知识须知

光刻机水冷机组定时保养知识须知

  按时进行光刻机水冷机组的维修保养,而对于很多企业而言,如果光刻机水冷机组缺少必要的保养与维护,意味着光刻机水冷机组后期运行故障率非常高。

  在实际运行光刻机水冷机组的时候,为保持光刻机水冷机组运行靠谱与稳定,建议在使用半年时间之后,需要针对光刻机水冷机组进行面面的清洗。尤其对于容易产生积尘污垢的位置,如蒸发器、冷凝器需要作为清洗的地方,可依靠各类专业的清洗溶剂,达到更好的清洗效果,保持光刻机水冷机组具备更高散热性能,提高企业整体工作生产效率。

  即便光刻机水冷机组整体的运行品质再高,如果在规定的时间内没有进行任何的维护与保养,意味着光刻机水冷机组可能出现不同程度的故障问题。在散热性能受到影响的前提下运行光刻机水冷机组,其设备运行消耗的能源大范围的增加,严重影响光刻机水冷机组的稳定运行。

  具体什么时间针对光刻机水冷机组进行清洗,需要根据企业使用的环境确定。如果企业使用环境较为干净,可以适当的延长清洗的时间,反之需要企业提前完成清洗,保持光刻机水冷机组的运行稳定,避免各类故障影响到企业正常使用光刻机水冷机组。

  如果光刻机水冷机组使用的频率较高,并且环境较为恶劣,为减少工业冷冻机出现各类故障的概率,可以将清洗的时间提前。

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