半导体设备冷却加热机组换热器是将热流体的部分热量传递给冷流体的设备，又称热交换器。 换热器是实现化工生产过程中热量交换和传递*的设备。在热量交换中常有一些腐蚀性、氧化性很强的物料，因此，要求制造换热器的材料具有抗强腐蚀性能。 换热器的分类比较广泛：一般按工艺功能分类：可分为冷却器、冷凝器、加热器、再沸器，蒸发器、换热器等。如按换热器的传热方式和结构分类：则可分为间壁式换热器和直接接触式换热器等。其中前一种换热器常用的有夹套式、列管式、套管式等。其中列管式冷凝器该换热器结构简单，清洗方便，适应性强，传热效果好，是化工生产中应用广泛的一种传热设备。

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  半导体设备冷却加热机组冷凝器根据冷却介质可归纳为四大类，水冷却式冷凝器在这类冷凝器中制冷剂放出的热量被冷却水带走，冷却水可以是一次性使用也可以循环使用，水冷却式冷凝器按其不同的结构型式又可分为立式壳管式、卧式壳管式和套管式等多种。空气冷却式（又叫风冷式）冷凝器，在这类冷凝器中制冷剂放出的热量被空气带走， 空气可以是自然对流，也可以利用风机作强制流动，这类冷凝器系用于氟利昂制冷装置在供水不便或困难的场所。空气冷却式冷凝器，在这类冷凝器中制冷剂同时受到水和空气的冷却，但主要是依靠冷却水在传热管表面上的蒸发，从制冷剂一侧吸取大量的热量作为水的汽化潜热，空气的作用主要是为加快水的蒸发而带走水蒸气。蒸发冷凝在这类冷凝器中系依靠另一个制冷系统中制冷剂的蒸发所产生的冷效应去冷却传热间壁另一侧的制冷剂蒸汽，促使后者凝结液化。

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