SAHUS无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空
 

特点
抽速范围广，从1升/秒到17升/秒
适用于电源电压与频率，110/220/380/460V,50/60Hz
高效环保，不返油也不喷油，创造洁净真空和洁净工作环境
操作简单，能在大气压和真空之间频繁启动与关闭
低振动，低噪音，低能耗
重量轻、体积小
 

用途

镀膜，PVD/CVD/LPD

LED/LCD/激光管抽真空与封装
真空炉/单晶炉/烘箱
电子束焊接/激光焊接
手套箱/排气台
预处理室/样品传输室抽真空
激光管抽真空/封接
真空检漏/He质谱检漏
稀有/特殊气体回收/再循环
冷凝泵再生
分子泵前级
空间环境模拟
表面分析仪器/能谱仪/扫描电镜
光束线

使用注意事项

不能抽对人体有害或者易爆、易燃或腐蚀性气体，或者含有化学品、溶剂、以及能生成粉末的物质，以免由于爆炸或者燃烧引起人身伤害。
进气温度不能超过50℃，如果超过该温度，必须在进气管路上安装冷却装置，使进气温度低于50℃。