TC Wafer晶圆测温系统 半导体晶圆硅片测温
时间:2023-09-06 阅读:1005
TC Wafer晶圆测温系统 半导体晶圆硅片测温
引言
半导体行业的高速发展使得晶圆制造过程的温度控制变得至关重要。温度变化可能会对晶圆的性能、质量和产量产生直接影响。为了实现更精确的温度监测和控制,TC Wafer晶圆测温系统应运而生。
Wafer-TC晶圆热电偶温度传感器利用热电效应来测量温度。其基本原理是在晶圆表面埋入微小的热电偶元件,当晶圆表面温度发生变化时,热电偶产生微弱的电压信号。通过测量这些电压信号,可以准确地计算出晶圆的温度变化。
产品介绍
TC Wafer晶圆测温系统是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面,对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度,以及晶圆整体的温度分布,同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化,获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据,从而了解半导体设备的温度均匀度。
产品特点
*传输通道数量可定制
*优异的软件功能,可用图形及颜色显示温度分布状况
*数据可储存调用
*可提供温度曲线图,方便直观的看到温度变化趋势
*真空环境下,温度传感器保持高精度和良好的稳定性
产品应用
晶圆热处理:在晶圆加工过程中,需要对晶圆进行精确的温度控制,以确保所需的材料性能和结构。
晶圆降温:晶圆从高温状态降温时,需要监测温度变化,以避免温度梯度引起的应力和热应力。
薄膜沉积:在薄膜沉积过程中,温度的精确控制可以影响薄膜的厚度、均匀性和质量。
等离子体刻蚀:温度变化可能会影响刻蚀速率和表面质量,因此需要实时监测和控制温度。
TC Wafer晶圆测温系统 半导体晶圆硅片测温