MF5000 工业用-质量式气体流量计 / 质量流量计 (Mass Flow Meter / Gas Flow Meter)-登方（上海）电子有限公司手机版

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MF5000 质量式气体流量计/ 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计

MF5000 MEMS质量式气体流量计 / 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计
MF5000 专为工业环境设计，在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计量程比大大提升，

管径范围3.0mm~19.0mm，具有多种信号输出及通讯接口本产品在性能、安装可广泛应用于

石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域

【测量类型】
氧气、氮气、氦气、氢气、氩气、压缩气体、甲烷、液化石油气、天然气、二氧化碳...等

【应用环境】
工业制造业的用气测量及程控、
医疗设备 (如：医疗麻醉与呼吸设备、医院供氧/制氧设备、分床计费系统)

环保领域、食品加工、科学气体分析仪器、楼宇自控、保健设备...等

【何谓MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是将微电子技术与机械工程融合的一种工业技术；而MF系列气体流量计采用MEMS芯片及的封装技术，
相较于传统的热式质量流量计，MEMS质量流量计，体积更轻巧、压力损失小、低功耗、响应速度快、测量结果更精确可靠

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MF5000 质量式气体流量计/ 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计技术参数

型号	MF5003	MF5006	MF5008	MF5012	MF5019
流量范围(SLPM)	0.15~15	0.5~50	1.2~120	3~300	8~800
通径(mm)	3.0	6.0	8.0	12.0	19.0
接口NPT)	1/8"	1/4"	3/8"	1/2"	3/4"
精确值	±(1.5+0.5FS)%
显示	瞬时流量、累积流量
响应时间	125ms
电源	12~24VDC,50mA
输出信号 ※	4~20mA、3.3V脉冲
通讯介面 ※	RS485
工作压力	1.5MPa
机械接口	BSPT 1/4(R1/4)或4mm、6mm、8mm快速接头
防护等级	IP40(MF5000(e))、IP66(MF5000(E))
环境温度	-20~60℃
介质温度	-10~55℃
工作湿度	<95%RH(无结冰、无结露)
防爆 ※	Ex d IIC T4(仅对MF5000(E))

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