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ESS 氦质谱检漏仪在真空验证中的应用

时间:2019-07-08      阅读:744

氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。

氦气作为惰性气体,不会腐蚀设备,且在容器环境和质谱环境中干扰较少,信号较纯,因而

常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪(即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体

分析仪)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量

大小。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里*的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪

器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。

以西格玛旗下的 SAFC Hitech 子公司为例

Epichem (Epichem Limited,特殊气体分部) 要求 ESS 设计并建造了一套检测系统, 用于泵压、

烘烤、真空检漏、正压泄漏检测以及有机金属起泡剂的制备气认证。

起泡器 (过去常用于向半导体工业提供有机金属) 是一些体积较小的金属罐,配置有进出阀。

由于具有高真空超洁净的特点,因此起泡器在填充前要求相当的洁净。同时,由于起泡器内

填充的是氧气,避免泄漏发生爆炸也至关重要。

针对此应用,ESS 开发出了一种特殊的双进样端口的质谱系统,它具有一个经校准的正压泄

漏测试模块,还具有一个自动化的高真空测试模块。

首先,将起泡器放置于平台上。使用氦气填充至一定压力,所有的接头都使用正压泄漏检测

装置嗅辨一下。任何检测到的泄漏记录与起泡器序列号一一对应,发生任何超过用户设

置的zui大允许结果泄漏的起泡器都会被拒绝放行。

然后将起泡器安装 10 个一排的装置上,该装置配有无油前级泵和涡轮分子泵。在软件*

控制下,外部管线抽真空并保持状态,然后操作者使用外喷雾检查所有接头时, 质谱系统

可以监测任何氦泄漏。

若通过泄漏测试,将起泡器抽真空、烘烤。测试结束时,质谱系统会自动分析起泡器和接头

管线中的气体。为保证测试结果,所有起泡器中的水,氧和溶剂的浓度必须低于 1 ppm

测试结束时,会提醒操作人员,并显示测试结果是通过还是拒绝,所有测试数据将会被记录,

便于溯源。

 

监测组分

检测限

丙酮(Acetone)

0.5ppm

乙醇(Ethanol)

0.5ppm

氦气(Helium)

0.5ppm

氮气(Nitrogen)

0.5ppm

氧气(Oxygen)

0.5ppm

三氯乙烯(Trichloroethylene)

0.5ppm

(Water)

0.5ppm

推荐:ESS REACTORR 系列质谱仪

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