在洁净室中，过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此，过滤器安装或更换后，必须对过滤器的安装连接处进行检漏，以确保洁净室的洁净度符合要求 。

一、仪器

检测过滤器的质量，以避免过滤器泄漏，影响生产。方法：用尘埃粒子计数嚣检测过滤器是否有泄漏现象。

结果：检测各点的悬浮粒子若出洁净区要求的范围则有泄漏现象，需堵漏或更换。

尘埃粒子计数器

二、实验原理

应用光散射原理，计数测定时利用光电倍增管接受尘埃粒子反射的光以测定其大小和数量，并加以分析累计及数字显示。

三、实验方法

3．1 环境条件：温度控制在18—26℃ ；相对湿度控制在45—65％

3．2 测试状态：静态测试，室内测试人员不得多于2人。

3．3 压差：针对室内不同洁净度房间而言，静压差 5Pa，洁净区与非洁净区之问静压差 10Pa；对工艺过程中产尘量大的房间与其他房间应保持相对负压。

3．4 测试方法

3．4．1 将尘埃粒子计数器用注射用水及75％酒精擦试消毒后再经紫外线照射30分钟传入洁净区。

3．4．2 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。

3．4．3 打开电源。仪器进行tl检、选项后，把测量塑料管从后面板上拔下。端口放置在需要测量的位置

3．4．4 检测时采样头离过滤器2—4aTl ，沿过滤器内边框及中间缓慢扫描，每块过滤器少测试出5个点，观察显示数据。测试完毕后，将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行tl检。然后关闭电源。

用尘埃粒子计数器测定百级洁净区过滤器结果见表1

四、结论

通过以上测定可以看出3号过滤器有泄漏现象。需进行堵漏或更换，过滤器修理或更换后必须重新进行测试。在正常条件下一般每年少做一次对过滤器检漏测试看是否发生变化。它是洁净度试验的重要组成部分。

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