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仪器型号 | MM-400T | MM-800T |
XY轴测量行程 | 200*100mm | 300*200mm |
外形尺寸 | 1000*600*1400mm | 1200*720*1600mm |
载物台承重 | 15KG | 15KG |
Z轴升降方式 | 手动(可选电动) | 手动(可选电动) |
Z轴升降范围 | 150mm | 200mm |
工件*大高度 | 170mm | 170mm |
光学系统 | 三目(可选单目、FA三目) | 三目(可选单目、FA三目) |
照明系统 | LED同轴冷光源 | LED同轴冷光源 |
目镜倍率 | 10X | 10X |
物镜倍率 | 3X(可选1X、5X、10X、20X、50X、100X) | 3X(可选1X、5X、10X、20X、50X、100X) |
光栅尺分辨率 | 0.001mm(可选0.0001mm) | 0.001mm(可选0.0001mm) |
线性精度 | (3+L/200)um L为被测工件长度(单位mm) | (3+L/200)um L为被测工件长度(单位mm) |
重复性 | 2um | 2um |