由于超纯水对水质的BOD和TOC等物质的含量要求比较高，所以一般会采取二级反渗透，后面的工艺比则采取离子交换混床或者EDI的技术。

    离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制备高纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子（HCO3-等离子）与交换柱中的阳树脂的氢根离子和阴树脂的氢氧根离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求。
    离子交换法是目前国内外制水行业普遍采用的较为理想的方法，也是有效地化学法之一，离子交换是一种用阴阳交换树脂对离子的选择性及平衡反应原理，去除水中电解质离子的技术。其特点是利用离子交换树脂在水中和钙、镁及钠离子接触交换，从而得到优质纯水及高纯水，水质安全可靠，是一套完整成熟的制水工艺，现广泛为广大用户认可。