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光纤器件无尘车间空气净化系统要求:
光单元生产车间温度宜保持在15度~28度,相对湿度宜保持在40%~70%。
光栅光刻车间洁净度不应低于7级,平面波导型光纤耦合器耦合车间洁净度不应低于8级,其他光单元生产车间应为清洁厂房。
生产厂房洁净区空气洁净等级应根据生产环境要求确定。
空气净化系统宜采用上送测回或上送上回的送回风方式。
生产中产生有害气体的工艺或设备应部排风或净化装置。
光纤厂房的生产环境应满足生产工艺的要求,各生产房间的洁净度等级和温度、相对湿度应按本规范表4.1.5的规定取值。
新风宜集中进行空气净化处理,新风机组风机应变频控制,并应设置压差报警。
新风机组冷冻水供回温度宜为6℃~12℃,循环机组冷冻水供回温度宜为10%~16℃;加热盘管宜采用热水为热媒。
初效、中效、高效三级空气过滤器可布置在空气处理机组内。
拉丝间净化空调的气流组织应符合下列要求:
1 拉丝间净化空调宜分层设置风口,每层宜采用上送下回的方式;顶层可采用侧送上回的方式。
2 当拉丝塔设备配置了封闭的高洁净度的净化空气循环系统时,宜采用分层侧送侧回方式。
在确定拉丝间净化空调系统的送风量时,应计算每层工作平台的工艺设备发热量。
拉丝塔设备的紫外固化装置送、排风系统应符合下列要求:
1 送风系统应独立设置,不得抽取室内净化空调空气作为送风,空调器内可设置表冷盘管、加热盘管以及初效、中效及亚高效空气过滤器,送风机组的风机压头应计算工艺设备内部阻力;送风风管应核算风管承压能力。
2 排风系统可高空排放。
3 热排风风管应采用耐高温耐高压的材料。
4 涂覆挥发物排风风管应采用耐腐蚀的材料。
拉丝间应设置排烟设施。
相关规范:
GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范
GB 51123-2015光纤器件生产厂工艺设计规范
GB 50073-2013 洁净厂房设计规范
GB 51110-2015 洁净厂房施工及质量验收规范
GB 50019-2015 工业建筑供暖通风与空气调节设计规范
GB 50243-2016通风与空调工程施工质量验收规范
GB 50016—2014(2018年版)建筑设计防火规范