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silicon desins1521L表贴式加速度计
面议美国CTC振动加速度传感器AC102系列
面议美国CTC振动加速度传感器AC115系列
面议美国CTC振动加速度传感器AC133系列
面议美国CTC振动加速度传感器AC192系列
面议美国CTC振动加速度传感器VE101系列
面议美国CTC振动加速度传感器TA102系列
面议美国CTC振动加速度传感器LP202系列
面议美国CTC振动加速度传感器AC901系列
面议SDI单轴加速度计model 2012
面议Silicon Designs表贴安装的加速度计芯片1221L
面议SX41100 高精度伺服倾角传感器
面议
| zui小 | 典型 | zui大 | 单位 |
热功率P(Rm1+Rm2): | — | — | 30 | mW |
测量温度Tm | — | — | 180 | °C |
环境温度 | -20 | — | +85 | °C |
气体压力(1) | — | — | 200 | bar |
| zui小 | 典型 | zui大 | 单位 |
电阻,Rm1,Rm2(Tm=25°C) | 92 | 100 | 115 | ? |
电阻,Rt1,Rt2 | 220 | 240 | 275 | ? |
商,Rtx / ( Rm1+Rm2 ),x∈{1,2} | 1.13 | 1.2 | 1.27 | 1 |
阻抗差,Rm1 - Rm2 | -2.0 | — | +2.0 | ? |
α=温度系数,( Rm, Rt ) | 20 - 100°C | 4.8(2) | 5.5 | 5.9 | 10-3·K-1 |
G =几何系数(3) | — | 3.6 | — | mm |
τm =膜的热时间常数 | — | <5 | — | ms |
τdiffusion =气体交换的时间常数 | — | <100 | — | ms |
漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2} | — | 0.001 | 0.01 | %/week |
散射结构的体积 | — | 0.2 | — | mm3 |
保持干净的周围环境空间大小 | — | 100 | — | mm3 |
基础材料 | 硅,采用蚀刻技术获得微观结构 | |||
尺寸结构: 包括底座 不包括底座 | 3mm × 3mm × 1mm | |||
13mm Ø × 15.4mm | ||||
暴露在空气中的材料 | Si, SiOxNy, 金, 环氧材料 |