悬浮粒子是悬浮在空气中的尘埃粒子，与表面粒子不同（表面粒子是附在设备表面的尘埃粒子）。苏信系列的尘埃粒子计数器即是检测悬浮粒子的仪器。

*，不同等级的洁净室对悬浮粒子的要求也是不尽相同。所以，企业需要通过检测仪器测试悬浮粒子的浓度。

悬浮粒子计数器

悬浮粒子计数器应采用以下任意一种：

1.光散射粒子计数器（用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数）；

2.激光粒子计数器（用于粒径大于或等于0.1μm的悬浮粒子计数）。

光散射粒子计数器原理：空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与悬浮粒子的表面积成正比。

激光粒子计数器原理：空气中的悬浮粒子在激光束的照射下产生衍射现象，衍射光的强度与悬浮粒子的体积成正比。

悬浮粒子测试要点

1.必须按照测试仪器的检定周期，定期对测试仪器做检定。应使用检定合格，且在使用有效期内的仪器。

2.测试仪器在未进入被测区域时，若必需，则先清洁表面，或在相应的洁净室内准备和存放(用保护罩或其他适当地外罩保护仪器)。

3.在100级洁净室内用纸时，上面应蒙上一张透明不沾尘的覆盖物，在100级洁净室内不能用铅笔和橡皮。

4.使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作。

（1）仪器开机，预热至稳定后,，方可按测试仪器说明书的规定对仪器进行校正，同时检查采样流量和等动力采样头。

（2）采样管口置于采样点采样时，在计数趋于稳定后，开始连续读数。

（3）采样管必须干净，严禁渗漏。

（4）采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m。

（5）粒子计数器采样口和仪器工作位置宜处在同一气压和温度下，以免产生测量偏差。

悬浮粒子测试规则

1.测试条件

在测试之前，要对洁净室（区）相关参数进行预先测试，这类测试将会提供测试悬浮粒子的环境条件，例如这种预先测试或可包括：

（1）温度和相对湿度的测试。洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（无特殊要求时，温度在18℃~26℃，相对湿度在45%~65%为宜），同时应满足测试仪器的使用范围；

（2）室内送风量或风速的测试，或压差的测试；

（3）高效过滤器的泄漏测试。

2.测试状态

空态、静态和动态三种状态均可进行测试。

空态或静态测试时，室内测试人员不得多于2人。

测试报告中应标明测试时所采用的状态和室内的测试人员数。

3.测试时间

（1）在空态或静态a测试时，对单向流洁净室（区）而言，测试宜在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始；对非单向流洁净室（区），测试宜在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。

在静态b测试时,对单向流洁净室（区），测试宜在生产操作人员撒离现场并经过10min自净后开始；对非单向流洁净室（区），测试宜在生产操作人员撤离现场并经过20min自净后开始。

（2）在动态测试时，则须记录生产开始的时间以及测试时间。