真空抽气机组概况及原理

ZJP型带旁通阀罗茨真空泵，是ZJ型罗茨真空泵的派生产品，抽气原理与ZJ型泵一样，它也是利用一对８字形转子在泵壳中保持一定的间隙，作等速反向旋转而产生吸气和排气作用的。所不同的是ZJP型带旁通阀罗茨真空泵的进、排气口相连通，在二者的通道上垂直地安装着一个重力阀。其作用是当进气口和排气口的压力差与阀的有效作用面积的乘积超过阀头的自重时，阀头就自动顶开。这个数值是泵可靠运转的高压力差值，因此，这种阀实际上就是一种过载自动保护阀，也是ZJP 型带旁通阀罗茨真空泵的大优点。

真空抽气机组的特点

主要特点：

• 无油洁净，满足各种无油及腐蚀性特殊工况要求
• 过载自动保护，适合高压差工况，运行安全、可靠
• 高精度、高转速、高效率，降低使用成本，提高经济效益
• 无泄漏、低噪声、低震动，运行、维护成本更低
• 不锈钢机械密封，密封性能稳定、使用寿命长。

真空抽气机组的特点

规格参数：

因而用户可根据不同的使用要求来正确选择机组的级数。用户如有特殊要求也可与本公司直接，由本公司相关技术人员来选型。

真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等)，真空测量可选择数字式智能真空计及其的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。