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特种材料烧结升降炉炉架 炉架为整个炉体、升降电机等部分提供支撑。整体采用方管焊接而成,保 证足够的强度,长时间不变形,整体高约 4.3m,外观简洁美观。
炉壳 1)炉壳为长方体结构,主体结构采用方管焊接而成,保证整个炉体有足够 的强度,炉壳四周装有封板,外观简洁美观。 2)炉壳分内炉壳和外炉壳两部分,其中内炉壳采用双层设计,电极、热电 偶接线柱位于外炉壳和外层内炉壳(两层炉壳)之间,两层炉壳之间做空气导 流,保证接线柱温度接近室温、温度稳定; 3)壳内设有独立的调节机构,可调节炉芯垂直度; 4)整个炉体安装中有防震要求,严格控制晶体生长过程中炉体的震动;
特种材料烧结升降炉加热单元与炉膛 1)加热单元:加热元件采用进口康泰尔(KANTHAL)螺旋丝绕制而成; 2)保温层为优质高纯氧化铝多晶纤维材质,采用日本进口真空吸附成型技 术固化成型。 3)加热单元内径 300mm,外径 590mm(单边保温层厚度 145mm)。
4)整个炉体由多个加热单元拼接而成,共分成 8 个控温区和 1 个梯度区。 5)炉膛由刚玉管组成,内径Φ250mm,壁厚 5mm。 6)梯度区由三层碳化硅梯度砖构成,内径Φ138mm,总厚度约 45mm。 7)加热单元与炉膛使用温度 1200℃,常规工作温度不低于 1130℃, 累计工作寿命不小于 3 年;
温度监控系统 温度监控系统包括:热电偶、控温模块、测温模块、功率调整器等主要部 分; 1)热电偶采用 S 型热电偶。 2)控温热电偶丝(不带陶瓷套管)压在两个加热单元之间,热电偶头垂到 加热单元高度中间位置,共 8 个加热单元 8 根控温热电偶。 3)梯度区设置上下两层热电偶,每层 8 根圆周均匀分布,共 16 根,用于 测温。 4)控温采用欧陆 2604 控温模块(不带表头),测温采用欧陆 MINI8(16 路)温度采集模块; 5)功率调整模块采用进口欧陆 EFIT 25A 型功率调整器。
炉温分布 1)炉芯纵向温度场分布情况: 高温恒温区位于炉膛上部区域,温度可调。在温度 1130℃,恒温区长≥ 200 mm 范围内,温度不均匀性≤±1℃。 温度梯度区位于炉膛中部区域,梯度可调。在梯度区范围内温度梯度 ≥5℃/mm。 低温恒温区位于炉膛下部,温度可调。在温度 1050℃,恒温区长≥200 mm 范围内,温度不均匀性≤±2℃。2)炉温分布长时间稳定,至少大于 6 个月后重测,偏差点温度变化≤ 0.5℃。 3)配备 1 套测温组件,用于测定加热炉体的三维温场,包含加热炉体的轴 向和径向分布。测温组件能够安装在炉体或者固定支架上,采用自动测量控制 方式。
坩埚支撑机构 坩埚支撑机构由底座、支撑杆、刚玉坩埚组成。 1)坩埚支撑机构与机架部分相互独立,配有旋转控制电机; 通过调整底座固定板上的调节地脚对坩埚旋转机构水平进行调节,设计有 调节支撑杆垂直度的机构;通过调整滑块及固定板上的螺钉,调节支撑杆在 XY 方向上的位置,实现与炉膛对中,移动调节范围不小于 10mm。 2)坩埚支撑杆为中空刚玉管,支撑杆外径Φ60mm,直线度≤0.2mm;支撑 杆的长度应满足以下条件: a. 炉体升到最顶端时,陶瓷坩埚与炉口之间的空间至少要大于 100mm 才能 取下陶瓷坩埚上盖(长度 95mm); b. 炉体降到最下端时,陶瓷坩埚不会顶到刚玉保护管的上端口; c. 旋转支撑杆的保护套的伸缩范围满足炉体的行程。 3)刚玉坩埚套在支撑杆的顶端,刚玉坩埚尺寸为:内径 118mm,壁厚 5mm,外径 128mm,分上盖和下坩埚两部分,上盖长度 95mm,下坩埚长度 365mm,总长度 460mm。 4)坩埚支撑杆安装在底座安装孔内,通过螺钉锁紧,坩埚支撑杆与带轮芯 轴通过 O 型圈挤压的方式固定,以此来减小两个配件连接时出现偏心的问题。 采用伺服电机带动同步带轮,再带动坩埚支撑杆旋转。坩埚旋转速度在 5~30rpm/min 之间连续可调,在 10rpm/min 条件下,控制精度高,运行平稳。5)坩埚支撑机构包括支撑杆在 1200℃高温下能够至少承重 20kg,且保证 连续工作 60 天内旋转正常,长期工作寿命不小于 2 年; 6)支撑杆外面装有封尘罩。
炉体升降机构 1)炉体升降采用伺服控制,利用直线导轨做导向,通过精密滚珠丝杆传动 带动炉体升降。 2)设计有独立调节炉体运动导轨垂直度的调节机构。 3)设计有独立调节炉体垂直度的调节机构。 4)设计有防止炉体移动失控的安全保护系统(采用光电限位开关或更 产品,导轨上下两端装有橡胶挡块。)。 5)炉体升降分为快慢两档,升降速度可调,控制精度高,运行平稳,快慢 两档速度范围分别为(0.1~1mm/ hour)和(50~90mm/min)。 6)炉体运动能在任意位置安全停住; 7)为保证炉体平滑移动,配置重量相当的配重装置; 8)配有实时显示炉体移动位置的光栅尺,读数精度≤0.001mm,光栅尺能 与计算机通讯,炉体的位置能由计算机与光栅尺同时显示;
炉体升降与坩埚支撑杆旋转控制 炉体升降与支撑杆旋转的控制方式有计算机自动控制、手动控制及遥控三 种;升降控制可手动、自动。 1)计算机控制炉体升降:能通过软件控制炉体上下移动,可实现由计算机 编程控制的多段不同速度的匀速及变速移动; 2)手动控制炉体升降:设计有炉体升降手动控制面板,能够通过手动操纵 控制面板开关,使炉体上下移动;3)计算机控制支撑杆旋转:提供含有控制支撑杆旋转功能的软件,能通过 软件控制支撑杆转动速度平稳地正反恒速旋转,正反交替旋转,速度特性可实 现速度可调的梯形波、三角波及正弦波; 4)手动控制支撑杆旋转:设计有支撑杆旋转手动控制面板,能够通过手动 操纵控制面板的开关,使支撑杆正反恒速旋转,旋转速度可手动设置。
电气控制柜要求 设备采用一个电控柜,强、弱电元件上下独立分开。 1)电柜内包含:声光报警元件,控温表,变压器及功率模块,炉体升降控 制模块单元,安瓿旋转控制模块单元,工控计算机等; 2)电柜面板采用数字式仪表分别显示各加热区的电流和电压; 3)电柜面板安装有电柜总开关;电柜内部安装有各加热区电流回路开关; 4)电柜内预留 2 个三孔电源插口,可承受 10A 电流; 5)柜体内各元件安排得当,便于安装和拆卸; 6)电控柜设计美观、牢固,柜门开关方便、自由,长期使用不变形; 7)电控柜内、外各关键部件、开关、仪表等标识清楚。
该系列马弗炉使用操作简便,外形美观大方,性能稳定,安全性高.可用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测;粉末冶金行业及义齿加工行业的烘烤、氧化锆盘预烧结等。根据加热区大小,进行小试,中试,批量生产。