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LUPHOS SL/260/420系列仪器采用高速非接触式3D非球面光学面形测量系统 LuphoScan测量平台平台能够轻松进行非球面、球面、平面和自由曲面的测量,是一款基于多波长干涉技术(MWLI®)的干涉、扫描测量系统,它专为旋转对称表面的超精密非接触式3D形状测量而设计。该仪器的主要特性包括高速测量、特殊表面的高灵活度测量 (例如;拐点的轮廓或平坦的尖点), 物体直径可达420 mm。因为采用多波长干涉技术(MWLI®)传感器技术,因此能够扫描各种表面类型如透明材料、金属部件和研磨表面。LuphoScan系统能够为高质量的光学表面3D形状测量提供效益。
技术参数:
(1) 仪器型号:①LuphoScan 120、②LuphoScan 260 (A, B)、③LuphoScan 420 (A, B)
(2) 超高、可重复精度:≤ ± 50 nm
(3) 被测物直径:①120mm、②260mm、③420mm
(4) SAG高度凸面:①20mm、②55mm,50mm、③80mm,75mm
(5) SAG高度凹面:①-15mm、②-20mm,-30mm、③-30mm,-50mm
(6) 90°斜坡直径:①25mm、②75mm,55mm、③105mm,65mm
(7) 被测物重量: ①15kg、②25kg、③50kg
(8) 测量时间(3D拓扑结构)平面, ∅ =25 mm : 2:00分钟 (16 点/mm2),4:00分钟(100 点/mm2)
(9) 测量时间(3D拓扑结构)球面,Roc = 60mm,∅ = 40 mm :3:32分钟 (16 点/mm2),7:38 分钟(100 点/mm2)
测量时间(3D拓扑结构)球面, 球面, Roc = (±) 80 mm,∅=80 mm :6:08 分钟 (16 点/mm2),12:38 分钟(100 点/mm2)