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FTS i Series
英国泰勒-霍普森自1984年推出的Form Talysurf是台能够同时测量表面粗糙度、形状和轮廓的仪器。现在，新发展的FTS i Series系列测量系统强化了Taylor Hobson的，并创建了评价表面粗糙度和形状的新的标准。使得该电感测量系统成为几乎所有高精度测量应用的理想解决方案.
功能及特点
特点：
高精度的电感传感器，具备的稳定性和重复性
全新的测量系统与驱动系统
表面粗糙度与轮廓测量的优质解决方案
全国计量体系认证使用系统
技术参数:
（1）传感器类型：电感传感器
（2）三种水平驱动长度，X值/最小值：60mm/0.1mm，120mm/0.1mm,200mm/0.1mm
（3）驱动/测量速度：10mm/s值 -- 0.1mm/s, 0.25mm/s, 0.5mm/s 和1mm/s
（4）X方向的最小数据取样间隔：0.125µm [ 0.1mm到120mm长度]
（5）直线度不确定度(Pt)²：0.5µm / 60mm ，0.5µm / 120mm ，0.75µm / 200mm
（6）直线度重复性：0.15µm/60mm, 0.15µm/120mm, 0.2µm/200mm
（7）分辨率：1mm量程时为16nm、0.2mm量程时为3.2nm
（8）量程与分辨率的比率：65,536 : 1
（9）测针臂长度、针尖大小、测力：60mm臂, 2µm半径锥球形金刚石, 1mN测力
（10）Z轴非线性：(0.05 Z [mm]) µm - 标定后⁴ (Z =传感器位移)
