一、主要技术指标
1.被测件长度：150mm
2.工作台行程：5 mm
3.测杆移动范围：0.5mm
4.分划板刻度范围：±50格
5.直接测量范围：5-20μm
6.分度值调整范围：0.05-0.2 μx
7.推荐使用分度值：0.1 μm
8.测量压力：(1.5±0.1) N
9.仪器示值稳定性：0.02 μm
10.仪器误差：数字显示
11.测量误差：
n 是格数, i是格值,λ是滤光片中心波长，△λ是滤光片波长误差
12.仪器体积：280*500*700 mm
13.仪器重量：40 kg

二、标准配件
1.五筋园台
2.九筋玛瑙台
3.可调园平台
4.辅助台
5.平面测帽
6.小球面测帽
7.干涉滤光片