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一、用途
WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中常用的检测仪器之一.
目镜 PL L5X/0.12 工作距离:26.1 mm PL L40X/0.60 工作距离:3.98 mm PL L100X/0.90 工作距离:2.2 mm (干式) 30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm. 粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm. 五孔(内向式滚珠内定位) 双层机械移动式载物台, 外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm 6V30W卤素灯,亮度可调 内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器 阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降 配置蓝滤色片与磨砂玻璃片 防霉 系统组成 1.硅片检测显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机(选购) 1、硅片检测显微镜 2、适配镜 3、数码相机(选购) 分划目镜10X(Φ22mm) 明场物镜 20X、50X、80X 0.5X、1X、0.5X带分划尺 USB输出:130/300/500/1000万像素 CANON(EF) NIKON(F) 二维图像测量分析软件