工艺流程简介

环境空气经压缩净化，除去油、水、尘后，进入由两个装填有碳分子筛的吸附塔组成的变压吸附装置。压缩空气由下至上流经吸附 塔，其间氧分子在碳分子筛表面吸附，氮气由吸附塔上端流出，进入粗氮缓冲罐，经过一段时间后，吸附塔中碳分子筛被吸附的氧饱和，需进行再生。再生是通过停止吸附步骤，降低吸附塔压力来实现的。两个吸附塔交替进行吸附和再生，从而确保氮气的连续输出。

变压吸附制氮装置工艺流程图

技术特点

1、原料空气取自自然，只需提供压缩空气和电源即可制取氮气。设备能耗低，运行成本费用少。

2、氮气纯度调整方便，氮气纯度只受氮气排气量的影响，普通制氮纯度在90%－99.999%之间任意调节；高纯度制氮机可在99%－99.999%之间任意调节。

3、设备自动化程度高，产气快，可无人值守。启动、关机只需按一下按钮，开机20-40分钟内即可产生氮气。

4、设备工艺流程简单，设备结构外形紧凑，占地面积小，设备装置适应性强。

5、暴风雪法装填分子筛，避免高压气流冲击导致分子筛粉化现象，确保分子筛长时间使用。

6、数显流量计带压力补偿、高精度的工业过程监控二次仪表，具有瞬时流量及累积计算的功能。

7、在线分析仪浓度检测，高精度，免维护。

8、不合格气动自动放空，无需人为，保证工作效率。

9、可设计不合格纯度报警，

10、预留PLC的通讯接口（RS485），与买方上位机通讯。

技术指标参数：

流量：3~2000nm³/hr

纯度：≥95-99.999%

压力：0.01-0.8Mpa(以内可调)

露点：-45℃

氧含量：≤5ppm

过滤精度：0.001ppm

行业应用范围

1、半导体封装行业应用
用氮气封装、烧结、退火、还原、储存。宏博变压吸附制氮机协助业类各大厂家在竞争中赢得先机，实现了有效的价值提升。

2、化工、新材料行业行业应用

用氮气在化工工艺中创建无氧气氛，提高生产工艺的安全性，流体输送动力源等。石油： 可应用于系统中管道容器等的氮气吹扫，储罐充氮、置换、检漏，可燃性气体保护，也应用于柴油加氢和催化重整。

3、半导体硅行业应用
半导体和集成电路制造过程的气氛保护，清洗，化学品回收等。