1.光机电一体化设计，外形结构简单；

2.扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；

3.精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；

4.采用精密探针定位模块，更换探针简单方便

5.采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；

6.伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；

7.高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；

8.高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；

9.带光学定位的CCD观察系统，实时观测与定位探针扫描样品区域

10.模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；

11.集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。

12.弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗干扰能力强