工业检测显微镜BM-54XBD
一、用途
BM-54XBD工业检测显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗物镜、大视野目镜、图像清晰、衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的，作为**工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察，广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。 |
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二、特点
1、采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术
2、拓展了物镜的复用技术，无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法，并在每一观察法中均提供高清晰的图像质量
3、采用非球面Kohler照明，增加观察亮度
4、WF10X(Φ25mm)超大视野目镜，长工作距离明暗场金相物镜
5、可插DIC微分干涉装置的转换器
三、技术规格
1、目镜：
| 类 别 | 放 大 倍 数 | 目视场直径（mm） |
超宽视场
平场目镜 | 10X | Φ25 |
目镜
(带0.1mm十字分划板） | 10X | Φ20 |
2、物镜：
| 类 别 | 放大倍数 | 数值孔径N.A(mm) | 系 统 | 工作距离（mm） |
平场无限远
长工作距离
明暗场物镜 | 5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
| 10X | 0.25 | 16.0 |
| 20X | 0.40 | 10.6 |
| 40X | 0.60 | 5.40 |
3、显微镜的总放大倍率：
| 物 镜 | 目 镜 | 镜筒系数 | 总放大倍数 |
| 5X | 10X | 1X | 50X |
| 10X | 100X |
| 20X | 200X |
| 40X | 400X |
4、观察头：30°铰链式三目
5、转换器：带DIC 插孔明暗场五孔转换器
6、瞳距：50-75 mm
7、双层移动平台：平台尺寸：350×310 mm；移动范围：250×250 mm
8、滤色片：插板式滤色片（绿、蓝、中性）
9、调焦机构：粗微动同轴调焦,采用卤轮卤条传动机构；微动格值0.002mm
10、偏光装置：检偏镜可360°转动，起偏镜、检偏镜均可移出光路
11、检测工具：0.01 mm测微尺
12、光源： 落射照明：带孔径光栏和视场光栏，卤素灯12V100W，AC85V-230V，亮度可调
