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固体 液体 粉末 薄膜 合金的元素分析
Rigaku ZSX Primus III +以很少的标准在各种样品类型中快速定量测定从氧气（O）到铀（U）的主要和次要原子元素。
ZSX Primus III +具有创新的光学上述配置。由于样品室的维护，再也不用担心被污染的光束路径或停机时间。光学元件以上的几何结构消除了清洁问题并延长了使用时间。
样品的高精度定位确保样品表面与X射线管之间的距离保持恒定。这对于要求高精度的应用很重要，例如合金分析。ZSX Primus III +采用的光学配置进行高精度分析，旨在限度地减少样品中非平坦表面引起的误差，如熔融珠和压制颗粒
EZ扫描允许用户在未事先设置的情况下分析未知样品。节省时间功能只需点击几下鼠标并输入样品名称。结合SQX基本参数软件，它可以提供最准确，速的XRF结果。SQX能够自动校正所有的矩阵效应，包括线重叠。SQX还可以校正光电子（光和超轻元素），不同气氛，杂质和不同样品尺寸的二次激发效应。使用匹配库和的扫描分析程序可以提高准确度。
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元素从O到U的分析
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光管在上方的光学器件使污染问题最小化（）
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占地面积小，使用较少宝贵的实验室空间
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高精度样品定位
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特殊光学元件减少了弯曲的样品表面造成的误差
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统计过程控制软件工具（SPC）
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疏散和真空泄漏率可以优化吞吐量
