低温等离子净化器内部装有值得信赖的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的无具体以临床效果为主体被电场内所产生的臭氧所具体以实际为主，并去除了异味，无具体以临床效果为主体被除掉，达到废气处理的目的。

低温等离子净化器技术原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安然物质，或使性能稳定物质转变成毒素检测性能稳定或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得好速度适宜。作为环境污染处理中的一项具有优良潜在优势的技术，等离子体受到了众多地区相关学科界的高度关注。

低温等离子净化器技术过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

(1)电场＋电子→能力好电子

(2)能力好电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团

(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热

(4)活性基团＋活性基团→生成物+热

从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，能力好电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。