卧式化学气相沉积炉-上海晨华科技股份有限公司手机版

详细介绍

一、设备用途：

化学气相沉积炉主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制备。

二、设备特点：

1 卧式结构，双炉门结构，炉门启闭采用气动方式。

2 双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。

3 控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。

4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。

5 配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。

三、主要技术参数：