硒化炉
型号：RG-3-8

详细描述

一、此设备主要用于铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的硒化反应处理。
CIGS薄膜太阳能电池首先用磁控溅射制备出铜铟镓(CIG)薄膜预制层，然后在此设备中用固态硒源实现硒化处理，从而反应生成CIGS薄膜太阳能吸收层。

二、设备特点：

1、过滤器采用德国莱宝公司结构制作，吸附力强，便于取出清理和更换滤芯。

2、我公司采用的氦质谱真空检漏仪进行压升率检测，可保证技术指标的可信和准确，压升率指标接近或低于国标的小值。

三、主要技术参数

1、额定功率：3 Kw±10%

2、额定温度：A区230 ℃、B区800 ℃

3、冷态极限真空度：6.67×10-3 Pa(在100℃温度以下允许抽真空)

4、压升率：2.0 Pa/h

5、工作区尺寸：Φ100×600 mm（直径×长）

6、控温区数：3区

7、保护气氛：氩气

9、充气压力：≤500 Pa

10、电源：三相 380V 50Hz