无尘室定义

无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。

无尘室依等级的不同，对一定空间内的微尘粒子容许量亦有一定规范，在国际标准中的规范见附件。

无尘室等级划分标准

洁净室，亦名无尘室或清净室，目前已是半导体工业和生物化学、医药、食品界等之重要设施。近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路(VLSI，Very Large Scale Integrated Circuit)之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视之项目，我国亦不例外。然积体电路与精密轴承(Bearing)、太空航空仪器、光学机械等之精密机械产业，对于空气中之浮游粒子、粉尘等之污染极为敏感，且对于产品之品质、可靠性及良率高低有著极大之影响。由于以上之产品必须在良好之洁净室内进行生产制造，故工业用之洁净室在各种产业上已被广泛采用。

另一方面在医学上及医疗技术方面，对于手术室，新生儿室、重症加护病房(Intensive Care Unit, ICU)、烫伤病房及冠状动脉加护病房，(Coronary Care Unit,CCU)等场所所为达成高度医疗效果，亦需有去除空气中浮游细菌之无菌之无菌环境，以维人员生命安全。其次在制药工作、食品制造业及医疗仪器制造业、生化及细菌培养等为提高产品品质及安全卫生，以去除空气中浮游细菌或微生物与外界异物之干扰侵犯之无菌洁净室亦应运而生。针对积体电路（半导体行业）而言，洁净室最重要之作用在于控制产品(如夕晶片等)所接轴之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为[洁净室}。换言之，洁净室之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之房间。亦即是不论为在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

从另一角度看，洁净室之立方英尺内之空气所含有大或等于0.5um(10-6M)之灰尘粒子不超过1颗；洁净室10级则为不超过10颗，洁净室100级，1000级......依此类推，为无尘室的等级分类。我们可以一简式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5um),Class10:≦10pcs/ft3(@≧0.5um)......。 由以上之定义，我们可知构成无尘室须具备以下之各项因素：

能除去空气中漂游之微尘粒子。 能防止微尘粒子之产生。温度和湿度之控制。 压力之调节。 有害气体之排除。 结构物与隔间之气密性。静电之防制。 电磁干扰之预防。 安全因素之考虑。 节能之考量。