工

作

台

X/Y轴轴行程

500MM*400MM

Z轴行程

有效空间245mm,调焦行程200mm，工作距离95mm

金属台面尺寸

700MM*600MM

玻璃台面尺寸

530MM*430MM

传动型式

传动型：X/Y/Z轴中国台湾进口精密线性导轨和中国台湾进口研磨级滚珠螺杆  

测量伺服驱动系统

三轴金属贴片尺 分辨率：X/Y/Z轴0.0002MM（0.2UM）

测量精度：≤3UM+L/200 重复精度：≤3UM

X/Y/Z三轴中国台湾高性能闭环伺服电机，双重闭环控制系统

影像系统

摄像机：1/3″CCD 摄像机放大倍率40-230X

自动连续变倍镜头：高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-5.0X

光源系统

5环8区表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调

仪器外形尺寸（L*W*H）

900MM*1050MM*1650MM

仪器重量

720KG